超声波脱脂机使用传感器发出的能量来分解零件上的油脂和其他污染物。超声波脱脂器中的换能器发出大约 30 千赫兹 （kHz） 的电磁射频 （RF） 信号，这会导致机械振动，称为污染物中的气蚀。在工业脱脂中，超声波脱脂器通常被掺入蒸汽脱脂器中。
由于超声波脱脂机可有效清洁使用其他方法难以脱脂的零件，因此它现在广泛用于从清洁玻璃镜片到汽车零件脱脂的某些应用。黄铜等多孔材料尤其难以使用传统的金属脱脂剂进行清洁。单独的蒸汽脱脂溶剂往往会在超声波脱脂剂可以有效清洁的孔隙和缝隙中留下污染物。
超声波脱脂器由几个基本部件组成，包括信号发生器、传感器和储罐。由于许多超声波脱脂器被集成到溶剂清洗过程中，因此超声波脱脂器中包括过滤器、冲洗器、干燥器和其他特定设计的功能等组件。组件将根据脱脂剂的使用要求而有所不同。工业模型可能非常大并且有多个腔室，而个人使用的桌面模型则易于携带。
工业超声波脱脂机用于大型零件以及大量小型零件。这些可能包括汽车零件、牙科工具和印刷电路板 （PCB），以及工业清洁剂的众多应用。轻型或个人脱脂剂可用于各种物品，如眼镜、高尔夫球杆和珠宝。
当用作溶剂清洁系统（如蒸汽脱脂剂）的一部分时，超声波脱脂是多级脱脂过程中的一个步骤。部件浸入沸腾溶剂上方的均热板中，并承受来自热溶剂的蒸汽以及来自超声波换能器的射频能量。通过气蚀进行机械清洗和对汽化溶剂进行化学清洗的组合通常会导致非常令人满意的脱脂效果。
对于使用蒸汽和超声波组合脱脂技术脱脂的许多部件，冲洗浴，然后通过加热和强制空气干燥完成清洁周期。对于浸入水中可能造成伤害的部件，可以单独使用超声波。自从认识到被归类为消耗臭氧层溶剂（ODS）的溶剂对环境的有害影响以来，工业脱脂机已被设计为使用更环保的溶剂类型。
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